టెఫ్లాన్ పూత పూసిన సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ – సున్నితమైన వేఫర్ నిర్వహణ కోసం అంటుకోని ఉపరితలం

సెయింట్ సెరా వారి టెఫ్లాన్ (PTFE) పూత పూసిన సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్, అధిక-బలం గల అల్యూమినా సబ్‌స్ట్రేట్‌ను ఏకరీతి, తక్కువ-ఘర్షణ గల PTFE పూతతో (మందం 15–30 μm) మిళితం చేస్తుంది. ఈ పూత అత్యంత తక్కువ ఘర్షణ గుణకం (≤0.1), అద్భుతమైన రసాయన నిరోధకత, మరియు అంటుకోని లక్షణాలను అందిస్తుంది, ఇది వేఫర్ అంటుకోకుండా నిరోధిస్తుంది మరియు వెనుక వైపు కాలుష్యాన్ని తొలగిస్తుంది. దీని కింద ఉన్న సిరామిక్ సబ్‌స్ట్రేట్ (99.8% Al₂O₃) అధిక వంగుడు బలం (361–1000 MPa), అరుగుదల నిరోధకత, మరియు 260°C (పూత పరిమితి) వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. ఈ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ సున్నితమైన, పలుచని, లేదా జిగటగా ఉండే వేఫర్‌లను (ఉదాహరణకు, ఫోటోరెసిస్ట్ కోటింగ్ లేదా రసాయన ప్రక్రియల తర్వాత) నిర్వహించడానికి చాలా అనువైనది.

స్పెసిఫికేషన్లు (PTFE పూతతో కూడిన 99.8% Al₂O₃ సబ్‌స్ట్రేట్ ఆధారంగా):

గమనిక: PTFE పూత గరిష్ట ఉష్ణోగ్రతను 260°Cకి పరిమితం చేస్తుంది; అధిక ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాల కోసం, పూత లేని సిరామిక్ లేదా ఇతర పూతలను పరిగణించండి.

అప్లికేషన్లు:

• · ఫోటోరెసిస్ట్ కోటింగ్ తర్వాత వేఫర్‌లను నిర్వహించడం (జిగట ఉపరితలాలు)
• · పలుచని లేదా పెళుసైన వేఫర్ల బదిలీ (అంటుకోకుండా నివారిస్తుంది)
• · సెమీకండక్టర్ తనిఖీ మరియు కొలత సాధనాలు
• · కణ కాలుష్యాన్ని కనిష్ట స్థాయికి తగ్గించాల్సిన క్లీన్‌రూమ్ ఆటోమేషన్

తయారీ ప్రక్రియ:

సిరామిక్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ను సింటరింగ్ మరియు ప్రెసిషన్ గ్రౌండింగ్ చేయడం → ఉపరితలాన్ని గరుకుగా చేయడం (ప్లాస్మా ఎచ్ లేదా గ్రిట్ బ్లాస్ట్) → PTFE స్ప్రే కోటింగ్ → 380°C వద్ద హీట్ క్యూరింగ్ → తుది తనిఖీ. ప్రతి ఎండ్ ఎఫెక్టర్‌ను కోటింగ్ మందం (ఎడ్డీ కరెంట్), అడెషన్ (క్రాస్-కట్ టెస్ట్ ASTM D3359), మరియు ఘర్షణ గుణకం కోసం తనిఖీ చేస్తారు.

నాణ్యత నియంత్రణ:

సూక్ష్మరంధ్రాలు లేదా బుడగల కోసం 100% దృశ్య తనిఖీ; పూత మందం ±5 μm లోపల ఏకరూపత; విట్నెస్ కూపన్‌పై 90° బెండ్ టెస్ట్ తర్వాత పొరలు విడిపోకపోవడం. OEM టాలరెన్స్‌కు కొలతల తనిఖీ (పొడవు ±0.05 మిమీ, సమతలం ≤0.1 మిమీ).

పూత లేని లేదా ఇతర పూతల కంటే ప్రయోజనాలు:

• · నాన్-స్టిక్ ఉపరితలం వేఫర్ అంటుకోవడాన్ని మరియు విరిగిపోవడాన్ని నివారిస్తుంది
• · సిరామిక్ పూతలలో అత్యల్ప ఘర్షణ గుణకం
• · అద్భుతమైన రసాయన నిరోధకత (ఆమ్లాలు, క్షారాలు, ద్రావకాలు)
• · పదార్థ బదిలీని నిరోధించడం ద్వారా కణాల ఉత్పత్తిని తగ్గిస్తుంది

పరిమితులు (పదార్థ విచలనంపై వ్యాఖ్యలు):

PTFE పూత, అందించిన పదార్థ ధర్మాల పట్టికల (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) నుండి తీసుకోబడలేదు. సబ్‌స్ట్రేట్ ధర్మాలు, సరఫరా చేయబడిన డేటాషీట్‌ను (99.8% Al₂O₃) ఖచ్చితంగా అనుసరిస్తాయి. పూతకు సంబంధించిన డేటా ఏదీ అందించబడనందున, పూత ధర్మాలు పరిశ్రమ-ప్రామాణిక PTFE నిర్దేశాలపై ఆధారపడి ఉంటాయి. 260°C మించిన అనువర్తనాల కోసం, పూత లేని సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్‌ను సిఫార్సు చేయబడింది.*

అనుకూలీకరణ:

150–1500 మిమీ పొడవులలో, కొన ఆకారాలలో (ఎడ్జ్ గ్రిప్, బెర్నౌలీ, ఫ్లాట్), OEM డ్రాయింగ్ ప్రకారం మౌంటింగ్ ఫ్లాంజ్ నమూనాలలో లభ్యం. పాక్షిక పూత (తాకే ప్రదేశాలకు మాత్రమే) లేదా పూర్తి కవరేజ్ ఐచ్ఛికం.

సంసంజన మరియు ఘర్షణ పరీక్ష కోసం ఒక నమూనాను అభ్యర్థించండి.