ఫిజికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ సిస్టమ్స్ కోసం అల్యూమినా PVD ఇన్సులేషన్ రింగ్
సెయింట్ సెరా యొక్క PVD ఇన్సులేషన్ రింగ్, ఫిజికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ (PVD) సిస్టమ్స్లో ఉపయోగం కోసం 99.8% అధిక-స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃) నుండి తయారు చేయబడింది. ఈ రింగ్ ఛాంబర్ భాగాల మధ్య విద్యుత్ ఐసోలేషన్ను అందిస్తుంది, ఆర్కింగ్ను నివారిస్తుంది మరియు స్థిరమైన ప్లాస్మా ఆపరేషన్ను నిర్ధారిస్తుంది. దీని ముఖ్య లక్షణాలలో అధిక డైఎలెక్ట్రిక్ స్ట్రెంగ్త్ (15×10⁶ V/m), నిర్దిష్ట నిరోధకత >10¹⁴ Ω·mm²/m, మరియు 1600°C వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వం ఉన్నాయి. మా ప్రెసిషన్ మెషీనింగ్ సామర్థ్యాలు 600mm వరకు బయటి వ్యాసాలను, 0.2mm వరకు లోపలి వ్యాసాలను, 0.003mm ఫ్లాట్నెస్ను మరియు Ra0.1 సర్ఫేస్ ఫినిష్ను సాధిస్తాయి. ఈ రింగ్ యొక్క జీరో పోరోసిటీ మరియు రసాయన జడత్వం, తీవ్రమైన స్పుటరింగ్ వాతావరణాలలో దీర్ఘకాలిక విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తాయి.
స్పెసిఫికేషన్లు (99.8% అల్యూమినియం ఆధారంగా)₂O₃& సెయింట్ సెరా తయారీ సామర్థ్యాలు):
| ఆస్తి | విలువ |
| పదార్థం | 99.8% అల్యూమినా (ఐవరీ) |
| సాంద్రత | 3.93 గ్రా/సెంమీ³ |
| వంగుదల బలం | 361 MPa |
| విక్కర్స్ కాఠిన్యం | 16 జీపీఏ |
| విద్యుద్వాహక బలం | 15×10⁶ V/m |
| నిర్దిష్ట నిరోధకత | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| గరిష్ట బాహ్య వ్యాసం | 600మి.మీ |
| కనిష్ట లోపలి వ్యాసం | 0.2మి.మీ |
| గరిష్ట మందం | 100మి.మీ |
| సమతలం | 0.003మి.మీ |
| సమాంతరత | 0.002మి.మీ |
| ఉపరితల ముగింపు | Ra0.1 |
| గరిష్ట నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత | 1600°C |
అప్లికేషన్లు:
- · PVD సిస్టమ్లలో టార్గెట్ బ్యాకింగ్ ప్లేట్ ఇన్సులేటర్లు
- · ఛాంబర్ ఫీడ్త్రూ ఇన్సులేటర్లు
- · స్పుటరింగ్ సిస్టమ్స్లో షీల్డ్ రింగ్ ఇన్సులేటర్లు
- · ప్లాస్మా ఛాంబర్లలో అధిక-వోల్టేజ్ ఐసోలేషన్
తయారీలో కచ్చితత్వం:
కేంద్రీయత: 0.01మిమీ, గుండ్రదనం: 0.002మిమీ, సరళత: 0.005మిమీ, లంబత్వం: 0.005మిమీ, CMM ద్వారా ధృవీకరించబడింది.
Aపాలిమర్ ఇన్సులేటర్ల కంటే ప్రయోజనాలు:
- · పాలిమర్ యొక్క <300°C పరిమితితో పోలిస్తే 1600°C ను తట్టుకుంటుంది
- · వాయువులు వెలువడవు – వాక్యూమ్ సమగ్రతను కాపాడుతుంది
- · ప్లాస్మా కోత మరియు రసాయన దాడిని నిరోధిస్తుంది
అనుకూలీకరణ:
కస్టమ్ క్రాస్-సెక్షన్లు, మౌంటింగ్ ఫీచర్లు, స్టెప్ ప్రొఫైల్లు మరియు బహుళ ఏకకేంద్రక రింగ్ డిజైన్లు అందుబాటులో ఉన్నాయి.








