సెమీకండక్టర్ ప్రాసెస్ ఫిక్చర్ల కోసం సిరామిక్ సపోర్టింగ్ పిన్
సెయింట్ సెరా యొక్క సిరామిక్ సపోర్టింగ్ పిన్లను (వీటిని లిఫ్ట్ పిన్లు లేదా సపోర్ట్ పిన్లు అని కూడా పిలుస్తారు) సెమీకండక్టర్ ప్రాసెస్ ఛాంబర్లలో వేఫర్లను లేదా సబ్స్ట్రేట్లను హ్యాండ్లింగ్, హీటింగ్ లేదా కూలింగ్ చేసే సమయంలో పైకి ఎత్తడానికి ఉపయోగిస్తారు. 99.8% అల్యూమినా లేదా సిలికాన్ నైట్రైడ్తో తయారు చేయబడిన ఈ పిన్లు అధిక సంపీడన బలం, ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు రసాయన నిరోధకతను అందిస్తాయి. అర్ధగోళాకార లేదా చదునైన కొన డిజైన్ వేఫర్పై గీతలు పడకుండా నివారిస్తుంది.
స్పెసిఫికేషన్లు(అల్యూమినా 99.8%):
| ఆస్తి | విలువ |
| పదార్థం | 99.8% Al₂O₃ లేదా Si₃N₄ |
| పొడవు | 10 – 100 మి.మీ. |
| వ్యాసం | 1 – 10 మి.మీ. |
| చిట్కా ఆకారం | చదునైన, అర్ధగోళాకార, మొనదేలిన |
| సంపీడన బలం (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| గరిష్ట నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత (Al₂O₃) | 1600°C |
| ఉపరితల ముగింపు | లాప్డ్ (Ra ≤0.4 μm) |
| వ్యాసంపై సహనం | ±0.01 మిమీ |
అప్లికేషన్లు:
CVD/PVD ఛాంబర్లలో లిఫ్ట్ పిన్లు
హాట్ప్లేట్ బేకింగ్ కోసం సపోర్ట్ పిన్లు
ప్రోబ్ కార్డ్ మద్దతు నిర్మాణాలు
క్వార్ట్జ్ కొలిమి పడవ మద్దతు
తయారీ:
OD యొక్క ఖచ్చితమైన సెంటర్లెస్ గ్రైండింగ్ → టిప్ ప్రొఫైల్ యొక్క డైమండ్ గ్రైండింగ్ → అల్ట్రాసోనిక్ క్లీనింగ్ → 100% డైమెన్షనల్ తనిఖీ.
నాణ్యత నియంత్రణ:
పొడవు/వ్యాసం కోసం CMM, కొన వ్యాసార్థం కోసం ఆప్టికల్ కంపారేటర్, సంపీడన బలాన్ని ధృవీకరించడానికి లోడ్ టెస్టింగ్ (ప్రతి లాట్కు యాదృచ్ఛిక నమూనా). ఫెర్రోమాగ్నెటిక్ కాలుష్యం లేదు (అయస్కాంతంతో ధృవీకరించబడింది).
లోహ లేదా క్వార్ట్జ్ పిన్ల కంటే ప్రయోజనాలు:
స్టెయిన్లెస్ స్టీల్ కంటే 5 రెట్లు ఎక్కువ మన్నిక
ప్రాసెస్ ఛాంబర్లో లోహ కాలుష్యం లేదు
క్వార్ట్జ్ కంటే అధిక ఉష్ణోగ్రత సామర్థ్యం (1600°C vs 1100°C)
నాన్-స్టిక్ ఉపరితలం (కణాల అంటుకోవడం తగ్గింది)
అనుకూలీకరణ:
బహుళ కొన ప్రొఫైల్స్, థ్రెడ్డ్ బేస్, లేదా టేపర్డ్ షాఫ్ట్.
మేము తీవ్రమైన ప్లాస్మా వాతావరణాల కోసం SiC పిన్లను కూడా సరఫరా చేస్తాము.
