CVD / PVD ప్రాసెస్ ఛాంబర్‌ల కోసం కస్టమ్ హై-ప్యూరిటీ అల్యూమినా సిరామిక్ రింగ్ తయారీదారులు మరియు సరఫరాదారులు

CVD / PVD ప్రాసెస్ ఛాంబర్‌ల కోసం అధిక-స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా సిరామిక్ రింగ్

సంక్షిప్త వివరణ:

సెయింట్ సెరా వారి సిరామిక్ రింగ్, CVD (కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్) మరియు PVD (ఫిజికల్ వేపర్ డిపోజిషన్) ప్రాసెస్ ఛాంబర్లలో ఉపయోగం కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. 99.8% అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃)తో తయారు చేయబడిన ఈ రింగ్, ప్లాస్మాను నిరోధించడానికి మరియు ఛాంబర్ గోడలను కోత నుండి రక్షించడానికి ఛాంబర్ లైనర్, ఫోకస్ రింగ్ లేదా ప్రాసెస్ కిట్ కాంపోనెంట్‌గా పనిచేస్తుంది. ఈ మెటీరియల్ అద్భుతమైన ప్లాస్మా నిరోధకతను, అధిక డైఎలెక్ట్రిక్ స్ట్రెంగ్త్ (15×10⁶ V/m) మరియు 1600°C వరకు థర్మల్ స్టెబిలిటీని అందిస్తుంది, ఇది తీవ్రమైన ఫ్లోరిన్ ఆధారిత ప్లాస్మా వాతావరణాలలో సుదీర్ఘ సేవా జీవితాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. కచ్చితమైన డైమెన్షనల్ టాలరెన్స్‌లు (ID/OD పై ±0.05 mm) మరియు ఫ్లాట్‌నెస్ (≤10 μm) వేఫర్ అంచును స్థిరంగా ఉంచడానికి వీలు కల్పిస్తాయి, ఇది డిపోజిషన్ ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తుంది మరియు పార్టికల్ జనరేషన్‌ను తగ్గిస్తుంది.

మాకు ఇమెయిల్ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరాలు

ఉత్పత్తి ట్యాగ్‌లు

నిర్దేశాలు (99.8% Al₂O₃ ఆధారంగా):

ఆస్తి	విలువ
పదార్థం	99.8% అల్యూమినా (ఐవరీ)
సాంద్రత	3.93 గ్రా/సెంమీ³
నీటి శోషణ	0%
వంగుదల బలం	361 MPa
ఫ్రాక్చర్ టఫ్నెస్	3–4 MPa·m¹/²
విక్కర్స్ కాఠిన్యం	16 జీపీఏ
యంగ్స్ మాడ్యులస్	380 GPa
ఉష్ణ వాహకత	32 W/m·k
ఉష్ణ వ్యాకోచం (25–1000°C)	7.2×10⁻⁶/℃
విద్యుద్వాహక బలం	15×10⁶ V/m
నిర్దిష్ట నిరోధకత	>10¹⁴ Ω·cm
గరిష్ట నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత	1600°C

అప్లికేషన్లు:

· CVD ఛాంబర్ ఫోకస్ రింగులు మరియు ఎడ్జ్ రింగులు
· PVD ఛాంబర్ షీల్డ్ రింగులు మరియు క్లాంప్ రింగులు
· ఛాంబర్ లైనర్లు మరియు కవర్ రింగులను ఎట్చ్ చేయండి
· డైఎలెక్ట్రిక్ ఎట్చ్ సిస్టమ్స్‌లో ప్లాస్మా కన్‌ఫైన్‌మెంట్ రింగ్‌లు

తయారీ ప్రక్రియ:

ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్ → గ్రీన్ మెషీనింగ్ → 1600°C వద్ద సింటరింగ్ → CNC ID/OD గ్రైండింగ్ → సర్ఫేస్ లాపింగ్ → అల్ట్రాసోనిక్ క్లీనింగ్ → 100% CMM తనిఖీ. అత్యంత నునుపైన ఉపరితల ఫినిష్ (Ra ≤0.4 μm) కణాల అంటుకోవడాన్ని తగ్గిస్తుంది.

నాణ్యత నియంత్రణ:

· 100% కొలతల తనిఖీ (లోపలి వ్యాసం, బయటి వ్యాసం, మందం, సమతలం)
· ఉపరితల సూక్ష్మ పగుళ్ల కోసం డై పెనెట్రెంట్ తనిఖీ
· ASTM D149 ప్రకారం విద్యున్నిరోధక శక్తి పరీక్ష
· 20× మైక్రోస్కోప్ కింద చూసినప్పుడు రంగు మారడం గానీ, రంధ్రాలు గానీ కనిపించలేదు.

లోహ లేదా క్వార్ట్జ్ ఉంగరాలపై ప్రయోజనాలు:

· ఫ్లోరిన్ ప్లాస్మాలో అల్యూమినియం రింగుల కంటే 5–10 రెట్లు ఎక్కువ జీవితకాలం
· పలుచని పొరలలో లోహ కాలుష్యం ఉండదు
· క్వార్ట్జ్ కంటే అధిక ప్లాస్మా నిరోధకత (క్షయ గొయ్యిలు ఉండవు)
· దీర్ఘకాలిక ఉపయోగం తర్వాత కూడా 10¹⁴ Ω·cm కంటే ఎక్కువ విద్యుత్ ఇన్సులేషన్‌ను నిర్వహిస్తుంది

ప్రత్యామ్నాయ పదార్థం — సిలికాన్ నైట్రైడ్ (Si₃N₄):

మరింత అధిక ఫ్రాక్చర్ టఫ్నెస్ (6.2 MPa·m¹/²) మరియు మెరుగైన థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్ (వ్యాకోచ గుణకం 3.2×10⁻⁶/℃) అవసరమయ్యే అప్లికేషన్ల కోసం, Si₃N₄ రింగులు అందుబాటులో ఉన్నాయి. అయితే, చాలా CVD/PVD అప్లికేషన్లకు అల్యూమినా మరింత తక్కువ ఖర్చుతో కూడుకున్నది. ఆర్డర్ చేసేటప్పుడు దయచేసి మెటీరియల్ ప్రాధాన్యతను పేర్కొనండి.

అనుకూలీకరణ: