సమీకృత వాక్యూమ్ ఛానెల్లతో కూడిన అల్యూమినా సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్
సెయింట్ సెరా యొక్క అల్యూమినా వాక్యూమ్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్, ఖచ్చితంగా మెషిన్ చేయబడిన వాక్యూమ్ ఛానెల్లు మరియు సక్షన్ హోల్స్ను నేరుగా 99.8% అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా బాడీలోకి అనుసంధానిస్తుంది. ఈ డిజైన్ బాహ్య వాక్యూమ్ ప్యాడ్లను తొలగిస్తుంది, దీనివల్ల ఏకరీతి హోల్డింగ్ ఫోర్స్తో నేరుగా వేఫర్ను పికప్ చేయడం సాధ్యమవుతుంది. ఈ మెటీరియల్ యొక్క అధిక ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంగ్త్ (361 MPa) మరియు కాఠిన్యం (16 GPa), పదేపదే వాక్యూమ్ సైకిల్స్ కింద కూడా దీర్ఘకాలిక డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తాయి. ప్యాడ్ ప్రాంతం అంతటా సమతలం 10 μm లోపల నిర్వహించబడుతుంది, ఇది వేఫర్పై ఒత్తిడిని మరియు విరిగిపోవడాన్ని నివారిస్తుంది. OEM రోబోట్ ఆర్మ్స్తో సులభంగా అనుసంధానించడం కోసం వాక్యూమ్ పోర్ట్లు వెనుక మౌంటింగ్ ఫ్లాంజ్ వద్ద అమర్చబడి ఉంటాయి.
స్పెసిఫికేషన్లు(99.8% Al₂O₃ ఆధారంగా):
| ఆస్తి | విలువ |
| పదార్థం | 99.8% అల్యూమినా (ఐవరీ) |
| సాంద్రత | 3.93 గ్రా/సెంమీ³ |
| వంగుదల బలం | 361 MPa |
| విక్కర్స్ కాఠిన్యం | 16 జీపీఏ |
| యంగ్స్ మాడ్యులస్ | 380 GPa |
| ఉష్ణ వ్యాకోచం | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ప్యాడ్ చదునుదనం | ≤10 μm |
| వాక్యూమ్ ఛానల్ వెడల్పు | 0.5–2.0 మి.మీ. |
| గరిష్ట నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత | 800°C |
అప్లికేషన్లు:
● పలుచని లేదా వంగిన వేఫర్ల వాక్యూమ్ పికప్
● అంచులను పట్టుకోకుండా నేరుగా వేఫర్ను నిర్వహించడం
● సోలార్ సెల్ మరియు LED సబ్స్ట్రేట్ బదిలీ
తయారీ:
సింటెర్డ్ అల్యూమినా బ్లాంక్ → వాక్యూమ్ ఛానెల్లు మరియు రంధ్రాల కోసం 5-యాక్సిస్ CNC డ్రిల్లింగ్ → సర్ఫేస్ లాపింగ్ → అల్ట్రాసోనిక్ క్లీనింగ్ → హీలియం లీక్ టెస్ట్. ప్రతి ఎఫెక్టర్ వాక్యూమ్ ఏకరూపత కోసం 100% ఫ్లో-టెస్ట్ చేయబడుతుంది.
ప్రయోజనాలు:
● బాహ్య వాక్యూమ్ ప్యాడ్లు లేవు (కణాల మూలాలను తగ్గిస్తుంది)
● ఏకరీతి హోల్డింగ్ ప్రెజర్ వేఫర్ మార్కింగ్ను నివారిస్తుంది
● రసాయనికంగా జడమైనది మరియు క్లీన్రూమ్కు అనుకూలమైనది
