స్టాటిక్-సెన్సిటివ్ వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ కోసం ESD-సురక్షిత అల్యూమినా సిరామిక్ భాగాలు
సెయింట్ సెరా యొక్క ESD (ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ డిశ్చార్జ్) సురక్షితమైన అల్యూమినా సిరామిక్ భాగాలు, ఒక యాజమాన్య డోపింగ్ లేదా కోటింగ్ ప్రక్రియ ద్వారా సాధించబడిన 10⁶–10⁹ Ω/sq యొక్క అనుకూల ఉపరితల నిరోధకత కలిగిన 99.8% అధిక-స్వచ్ఛత గల Al₂O₃ నుండి తయారు చేయబడతాయి. ఈ భాగాలు స్టాటిక్ ఛార్జ్ను సమర్థవంతంగా వెదజల్లి, సున్నితమైన సెమీకండక్టర్ వేఫర్లు మరియు పరికరాలకు ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ నష్టాన్ని నివారిస్తాయి. ఈ ఆధార పదార్థం దాని అధిక వంగుదల బలం (361 MPa), కాఠిన్యం (16 GPa), మరియు విద్యుద్వాహక బలం (15×10⁶ V/m)లను నిలుపుకుంటుంది. ESD-సురక్షిత సిరామిక్ భాగాలలో ఎండ్ ఎఫెక్టర్లు, లిఫ్ట్ పిన్లు, గైడ్ రైల్స్, మరియు FAB ఆటోమేషన్ కోసం కస్టమ్ ఫిక్చర్లు ఉంటాయి.
స్పెసిఫికేషన్లు(99.8% Al₂O₃ ఆధారంగా ESD చికిత్సతో):
| ఆస్తి | విలువ |
| మూల పదార్థం | 99.8% అల్యూమినా |
| ఉపరితల నిరోధకత (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/sq |
| సాంద్రత | 3.93 గ్రా/సెంమీ³ |
| వంగుదల బలం | 361 MPa |
| విక్కర్స్ కాఠిన్యం | 16 జీపీఏ |
| యంగ్స్ మాడ్యులస్ | 380 GPa |
| ఉష్ణ వ్యాకోచం (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| గరిష్ట నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత | 800°C |
| విద్యున్నిరోధక బలం (మొత్తం) | 15×10⁶ V/m |
గమనిక: సరఫరా చేయబడిన మెటీరియల్ ప్రాపర్టీ పట్టికలలో ESD ఉపరితల నిరోధకత ఇవ్వబడలేదు. పైన పేర్కొన్న పరిధి డిస్సిపేటివ్ సిరామిక్స్కు పరిశ్రమ ప్రమాణం. పరీక్ష నివేదికల కోసం దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించండి.
అప్లికేషన్లు:
● వేఫర్ బదిలీ కోసం ESD-సురక్షితమైన ఎండ్ ఎఫెక్టార్లు
● FAB పరికరాలలో గ్రౌండింగ్ పిన్లు మరియు ESD ఫిక్చర్లు
● స్టాటిక్-సెన్సిటివ్ పరికరాల కోసం సాకెట్లను పరీక్షించండి
● స్టాటిక్ నియంత్రణ కీలకమైన క్లీన్రూమ్ పరికరాలు
తయారీ మరియు నాణ్యత:
ప్రామాణిక అల్యూమినా ప్రాసెసింగ్ + ESD ఉపరితల చికిత్స → ANSI/ESD STM11.11 ప్రకారం ఉపరితల నిరోధకతను కొలవడం జరిగింది. ప్రతి భాగాన్ని ఏకకేంద్రక రింగ్ ఎలక్ట్రోడ్తో 100% పరీక్షించడం జరిగింది.
ప్రయోజనాలు:
● ESD సంబంధిత దిగుబడి నష్టాన్ని నివారిస్తుంది
● సిరామిక్ యొక్క యాంత్రిక బలాన్ని మరియు రసాయన నిరోధకతను కాపాడుతుంది
● స్థిర విద్యుత్ ఉత్సర్గం నుండి కణాల ఉత్పత్తి జరగదు
