వంగిన & పలుచని వేఫర్ నిర్వహణ కోసం మెటల్-బ్యాక్డ్ పోరస్ SiC వాక్యూమ్ చక్

సెయింట్ సెరా యొక్క మెటల్ ఆధారిత సిరామిక్ వాక్యూమ్ చక్, పోరస్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సిరామిక్ పొరను, ఖచ్చితంగా మెషిన్ చేయబడిన మెటల్ బేస్ (అల్యూమినియం లేదా స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్)తో మిళితం చేస్తుంది. పోరస్ SiC మెటీరియల్ (నీలం-నలుపు, పోరోసిటీ 35–40%, పోర్ సైజు 20–30 μm, పర్మియబిలిటీ 60 ml/cm²·min) మొత్తం వేఫర్ ఉపరితలం అంతటా ఏకరీతిగా, సున్నితమైన వాక్యూమ్ పంపిణీని అందిస్తుంది. ఇది అంచులపై గుర్తులను తొలగిస్తుంది మరియు పలుచని (≤100 μm) లేదా వంగిన వేఫర్‌లకు నాన్-కాంటాక్ట్ సపోర్ట్‌ను అందిస్తుంది. SiC పొర తక్కువ ఉష్ణ వ్యాకోచం (3.5×10⁻⁶/℃), 1000°C వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు మధ్యస్థ ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంగ్త్ (32–35 MPa) అందిస్తుంది. మెటల్ బేస్ నిర్మాణ దృఢత్వాన్ని, థ్రెడ్ రంధ్రాల ద్వారా సులభమైన మౌంటింగ్‌ను మరియు పెళుసు పగుళ్ల నుండి రక్షణను అందిస్తుంది. ఏకరీతి వాక్యూమ్ మరియు ఉష్ణ అనుకూలత అత్యంత కీలకమైన బ్యాక్‌సైడ్ గ్రైండింగ్, డైసింగ్ మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ వంటి పనులకు ఈ చక్ చాలా అనువైనది.

స్పెసిఫికేషన్లు (అందించిన పోరస్ SiC డేటా ఆధారంగా):

గమనిక: రంధ్రాల కారణంగా దట్టమైన SiC కంటే వంగుదల బలం తక్కువగా ఉంటుంది. లోహ ఆధార లక్షణాలు సిరామిక్ పట్టికల నుండి తీసుకోబడలేదు.

అప్లికేషన్లు:

• · పలుచని వేఫర్‌ల (≤100 μm) వెనుక వైపు గ్రైండింగ్
• · డైసింగ్ కోసం వార్ప్డ్ వేఫర్ మౌంటింగ్
• · అధిక-ఉష్ణోగ్రత వేఫర్ చక్కింగ్ (1000°C వరకు)
• · రంధ్రాలు గల లేదా పెళుసుగా ఉండే ఉపరితలాల కోసం వాక్యూమ్ ఫిక్చరింగ్

తయారీ:

రంధ్రాలు గల SiC ప్లేట్ (రంధ్రాలు ఏర్పరిచే పదార్థాలతో తయారుచేసి, సింటరింగ్ చేసినది) → ≤10 μm మందంతో చదునుగా లాపింగ్ చేయబడింది → వాక్యూమ్ పోర్ట్‌లు మరియు మౌంటింగ్ ఫీచర్‌లతో మెటల్ బేస్‌ను మెషిన్ చేయడం → ఎపాక్సీ బాండింగ్ లేదా మెకానికల్ క్లాంపింగ్ → హీలియం లీక్ టెస్ట్.

నాణ్యత నియంత్రణ:

• · SEM ద్వారా ధ్రువణత మరియు రంధ్రాల పరిమాణం ధృవీకరించబడింది
• · పారగమ్యత పరీక్ష (గాలి ప్రవాహం)
• · లేజర్ ఇంటర్‌ఫెరోమీటర్‌తో కొలిచిన సమతలం
• · హీలియం లీక్ రేటు <1×10⁻⁹ Pa·m³/s

గ్రూవ్డ్ లేదా డెన్స్ సిరామిక్ చక్స్ కంటే ప్రయోజనాలు:

• · వేఫర్ మార్కింగ్ లేదు – వివిక్త రంధ్రాలు లేకుండా ఏకరీతి వాక్యూమ్
• · స్వీయ-శుభ్రపరిచే రంధ్రాలు – మూసుకుపోవడం తగ్గుతుంది
• · వంగిన వేఫర్‌లను (500 μm వరకు వంపు ఉన్నవి) నిర్వహించగలదు
• · లోహపు ఆధారం పెళుసు పగుళ్లను నివారిస్తుంది మరియు అనుసంధానాన్ని సులభతరం చేస్తుంది

పరిమితులు:

• · తక్కువ వంగుదల బలం (32–35 MPa) – ప్రభావ లోడింగ్‌ను నివారించండి
• · నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత 1000°C (పోరస్ SiC) కు పరిమితం చేయబడింది, కానీ యాంత్రికంగా బిగించకపోతే మెటల్ బేస్ ఎపాక్సీ బాండ్ ≤200°C కు పరిమితం చేయబడుతుంది.
• · అధిక పీడన వాక్యూమ్‌కు తగినది కాదు (రంధ్రాల నిర్మాణం గరిష్ట వాక్యూమ్ వ్యత్యాసాన్ని పరిమితం చేస్తుంది)

అనుకూలీకరణ:

• · లోహపు ఆధారం: అల్యూమినియం (తేలికైనది), స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ (తుప్పు నిరోధకమైనది), ఇన్వార్ (తక్కువ వ్యాకోచం)
• · అంటించడం: ఎపాక్సీ (≤200°C) లేదా మెకానికల్ క్లాంప్ (500°C వరకు)
• · జోన్ వాక్యూమ్ నియంత్రణ కోసం ఎడ్జ్ సీలింగ్ రింగ్

దయచేసి గమనించండి: రంధ్రాల కారణంగా, సరఫరా చేయబడిన వంగుదల బలం (32–35 MPa) సాంద్రమైన సిరామిక్స్ కంటే గణనీయంగా తక్కువగా ఉంటుంది. అంచులు చిట్లిపోకుండా జాగ్రత్తగా వాడండి.