వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ రోబోట్ల కోసం అధిక-స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్
సెయింట్ సెరా వారి అల్యూమినా సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్, అధునాతన 5-యాక్సిస్ CNC గ్రైండింగ్ పరికరాలను ఉపయోగించి, 99.8% అధిక స్వచ్ఛత గల Al₂O₃ నుండి అత్యంత కచ్చితత్వంతో మెషిన్ చేయబడింది. మా తయారీ సామర్థ్యాలలో ప్రెసిషన్ గ్రైండింగ్ మెషీన్లు మరియు CNC మెషీనింగ్ సెంటర్లు ఉన్నాయి, ఇవి అధిక కచ్చితత్వంతో సంక్లిష్టమైన జ్యామితులను రూపొందించడానికి వీలు కల్పిస్తాయి. ఈ ఎండ్ ఎఫెక్టర్, వేఫర్ను సులభంగా చొప్పించడం కోసం, టేపర్డ్ లీడింగ్ ఎడ్జ్తో కూడిన పలుచని ప్రొఫైల్ను (1.5 మి.మీ. అంత పలుచగా) కలిగి ఉంటుంది. ఈ మెటీరియల్ అధిక దృఢత్వాన్ని (యంగ్స్ మాడ్యులస్ 380 GPa), అద్భుతమైన అరుగుదల నిరోధకతను మరియు 800°C వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. ప్రతి యూనిట్ 0.003 మి.మీ. ఫ్లాట్నెస్, 0.002 మి.మీ. పారలలిజం మరియు Ra0.1 సర్ఫేస్ ఫినిష్ను సాధించడానికి అత్యంత కచ్చితత్వంతో గ్రైండ్ చేయబడుతుంది. ఇది సెమీకండక్టర్ FAB వాతావరణాలలో స్థిరమైన వేఫర్ కాంటాక్ట్ మరియు కణ-రహిత ఆపరేషన్ను నిర్ధారిస్తుంది. ఇది 150 మి.మీ. నుండి 450 మి.మీ. పొడవులలో, కస్టమ్ టిప్ జ్యామితులు (ఎడ్జ్ గ్రిప్, బెర్నౌలీ, ఫ్లాట్) మరియు OEM రోబోట్లకు సరిపోయేలా మౌంటింగ్ ఫ్లాంజ్లతో అందుబాటులో ఉంది. ఉపరితల ముగింపు ఎంపికలలో లాప్డ్, పాలిష్డ్, లేదా ESD డిస్సిపేటివ్ కోటింగ్ (10⁶–10⁹ Ω/sq) ఉన్నాయి.
స్పెసిఫికేషన్లు (99.8% అల్యూమినియం ఆధారంగా)₂O₃& సెయింట్ సెరా తయారీ సామర్థ్యాలు):
| ఆస్తి | విలువ |
| పదార్థం | 99.8% అల్యూమినా (ఐవరీ) |
| సాంద్రత | 3.93 గ్రా/సెంమీ³ |
| వంగుదల బలం | 361 MPa |
| విక్కర్స్ కాఠిన్యం | 16 జీపీఏ |
| యంగ్స్ మాడ్యులస్ | 380 GPa |
| సమతలం | 0.003మి.మీ |
| సమాంతరత | 0.002మి.మీ |
| ఉపరితల ముగింపు | Ra0.1 (లాప్డ్/పాలిష్డ్) |
| గరిష్ట నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత | 800°C |
| పొడవు పరిధి | 150–450 మిమీ |
అప్లికేషన్లు:
- · వాక్యూమ్ మరియు వాతావరణ రోబోట్లలో వేఫర్ బదిలీ
- · 200mm/300mm వేఫర్ల కోసం FAB ఆటోమేషన్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్లు
- · పలుచని వేఫర్ నిర్వహణ (ESD ఎంపికతో)
తయారీ సామర్థ్యాలు:
మా ప్రెసిషన్ గ్రైండింగ్ మెషీన్లు మరియు CNC మెషీనింగ్ సెంటర్లు ఈ క్రింది లక్షణాలతో సంక్లిష్టమైన సిరామిక్ భాగాల ఉత్పత్తిని సాధ్యం చేస్తాయి:
- · గరిష్ట మెషీనింగ్ పొడవు: 1500మి.మీ.
- · గరిష్ట బాహ్య వ్యాసం: 600మి.మీ.
- · కనిష్ట లోపలి వ్యాసం: 0.2మి.మీ.
- · గరిష్ట మందం: 100మి.మీ.
నాణ్యత నియంత్రణ:
సరళత 0.005mm, లంబత్వం 0.005mm, గుండ్రదనం 0.002mm, సమాంతరత 0.002mm, ఏకకేంద్రత 0.01mm లను CMM ద్వారా ధృవీకరించబడ్డాయి. ప్రతి యూనిట్ అల్ట్రాసోనిక్గా శుభ్రపరచబడి, క్లాస్ 100 క్లీన్రూమ్లో ప్యాక్ చేయబడింది.
