వేఫర్ నిర్వహణ కోసం అధిక-స్వచ్ఛత అల్యూమినా సిరామిక్ రోబోట్ ఆర్మ్
సెయింట్ సెరా యొక్క అల్యూమినా సిరామిక్ రోబోట్ ఆర్మ్, 99.8% అధిక స్వచ్ఛత గల Al₂O₃ (అల్యూమినా)తో అత్యంత కచ్చితత్వంతో రూపొందించబడింది. ఇది అసాధారణమైన వంగుదల బలం (361 MPa), అధిక కాఠిన్యం (16 GPa), మరియు తక్కువ సాంద్రత (3.93 g/cm³)లను మిళితం చేస్తుంది, ఫలితంగా సెమీకండక్టర్ వేఫర్ బదిలీ కోసం తేలికైన ఇంకా దృఢమైన ఆర్మ్ ఏర్పడుతుంది. ఈ పదార్థం యొక్క ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకం (7.2×10⁻⁶/°C) సిలికాన్తో చాలా దగ్గరగా సరిపోలుతుంది, ఇది ప్రాసెసింగ్ సమయంలో ఉష్ణ అసమతుల్యతను తగ్గిస్తుంది.
స్పెసిఫికేషన్లు (99.8% Al₂O₃ ఆధారంగా):
| ఆస్తి | విలువ |
| రంగు | ఏనుగు దంతం |
| సాంద్రత | 3.93 గ్రా/సెంమీ³ |
| వంగుదల బలం | 361 MPa |
| విక్కర్స్ కాఠిన్యం | 16 జీపీఏ |
| యంగ్స్ మాడ్యులస్ | 380 GPa |
| ఉష్ణ వాహకత | 32 W/m·k |
| ఉష్ణ వ్యాకోచం | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| విద్యుద్వాహక బలం | 15×10⁶ V/m |
అప్లికేషన్లు:
- వాక్యూమ్ వేఫర్ బదిలీ రోబోట్లు (200mm/300mm)
- వాతావరణ నిర్వహణ వ్యవస్థలు
FAB ఆటోమేషన్ కోసం ఎండ్ ఎఫెక్టర్ ఆర్మ్స్
తయారీ ప్రక్రియ:
ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్ → గ్రీన్ మెషీనింగ్ → 1600°C వద్ద సింటరింగ్ → CNC ప్రెసిషన్ గ్రైండింగ్ → అల్ట్రాసోనిక్ క్లీనింగ్ → క్లాస్ 100 క్లీన్రూమ్ ప్యాకేజింగ్. ప్రతి ఆర్మ్ సమతలం (±0.01 mm) మరియు ఉపరితల గరుకుదనం (Ra ≤0.4 μm) కోసం CMM ద్వారా 100% తనిఖీ చేయబడుతుంది.
నాణ్యత నియంత్రణ:
సెయింట్ సెరా ISO 9001:2015 ధృవీకరణ పొందింది. మేము సూక్ష్మ పగుళ్ల కోసం డై పెనెట్రెంట్ టెస్టింగ్, ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంగ్త్ కోసం త్రీ-పాయింట్ బెండింగ్, మరియు ASTM D149 ప్రకారం డైఎలెక్ట్రిక్ స్ట్రెంగ్త్ టెస్ట్ నిర్వహిస్తాము.
లోహపు ఆయుధాలపై ప్రయోజనాలు:
స్టెయిన్లెస్ స్టీల్ కంటే 50% తేలికైనది
- గాల్వానిక్ తుప్పు పట్టదు
- తక్కువ కణాల ఉత్పత్తి (≤0.05 కణాలు/సెం.మీ²)
- ESD-సురక్షిత పూత అందుబాటులో ఉంది (10⁶–10⁹ Ω/sq)
అనుకూలీకరణ:
OEM డ్రాయింగ్ల ప్రకారం 150mm నుండి 450mm వరకు పొడవులు, టిప్ ఆకారాలు (ఎడ్జ్ గ్రిప్, బెర్నౌలీ, వాక్యూమ్), మరియు మౌంటింగ్ ఫ్లాంజ్ ప్యాటర్న్లు. 2 వారాలలో ప్రోటోటైప్లు.
బల్క్ ఆర్డర్ల కోసం, దయచేసి కొటేషన్ అభ్యర్థించండి.
