బెర్నౌలీ సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ — పలుచని మరియు పెళుసైన వేఫర్‌ల కోసం స్పర్శరహిత వేఫర్ నిర్వహణ

సెయింట్ సెరా వారి బెర్నౌలీ సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్, వేఫర్‌లను భౌతిక స్పర్శ లేకుండా నిర్వహించడానికి ఏరోడైనమిక్ లిఫ్ట్‌ను ఉపయోగిస్తుంది. అధిక స్వచ్ఛత గల 99.8% అల్యూమినా (Al₂O₃) లేదా సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) తో తయారు చేయబడిన దీనిలో, ఎండ్ ఎఫెక్టర్ మరియు వేఫర్ మధ్య ఒక పలుచని గాలి పొరను సృష్టించడానికి పీడనంతో కూడిన వాయువును వెలికితీసే ఖచ్చితత్వంతో యంత్రాలతో తయారు చేయబడిన నాజిల్స్ ఉంటాయి. ఈ స్పర్శరహిత సూత్రం వెనుక వైపు కాలుష్యం, అంచులు విరగడం మరియు ఉపరితల నష్టాన్ని నివారిస్తుంది, అందువల్ల ఇది పలుచని (≤100 μm), పెళుసైన లేదా వంకరగా ఉన్న వేఫర్‌లకు ఆదర్శంగా ఉంటుంది. సిరామిక్ సబ్‌స్ట్రేట్ అధిక వంగుడు బలాన్ని (Al₂O₃ కోసం 361 MPa; SiC కోసం 550–600 MPa వరకు), తక్కువ బరువును మరియు అద్భుతమైన ఆకార స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది, ఇది అధిక-వేగ వేఫర్ బదిలీ రోబోట్‌లలో పునరావృతమయ్యే స్థాన నిర్ధారణను నిర్ధారిస్తుంది.

మెటీరియల్స్‌పై గమనిక:అల్యూమినా (Al₂O₃) దాని అద్భుతమైన కాఠిన్యం, విద్యుత్ ఇన్సులేషన్, రసాయన స్థిరత్వం మరియు తక్కువ ఖర్చు వంటి లక్షణాల కలయిక కారణంగా సెమీకండక్టర్ వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్‌లో సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్‌ల కోసం అత్యంత విస్తృతంగా ఉపయోగించే పదార్థం. సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) అధిక ఉష్ణ వాహకత, అధిక కాఠిన్యం మరియు అత్యంత క్లిష్టమైన అనువర్తనాల కోసం మరింత మెరుగైన అరుగుదల నిరోధకతను అందిస్తుంది. యట్రియా-స్టెబిలైజ్డ్ జిర్కోనియా (ZrO₂) గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద అధిక ఫ్రాక్చర్ టఫ్‌నెస్‌ను అందిస్తున్నప్పటికీ, దాని అధిక సాంద్రత మరియు విభిన్న ఉష్ణ వ్యాకోచ లక్షణాల కారణంగా ఈ అనువర్తనంలో దీనిని తక్కువగా ఉపయోగిస్తారు; అసాధారణమైన ఫ్రాక్చర్ టఫ్‌నెస్ అవసరమయ్యే నిర్దిష్ట సందర్భాలలో దీనిని పరిగణించవచ్చు. పదార్థ ఎంపిక మార్గదర్శకత్వం కోసం దయచేసి మా సాంకేతిక బృందాన్ని సంప్రదించండి.

స్పెసిఫికేషన్లు(99.8% Al ఆధారంగా)₂O₃):

నిర్వహణ సూత్రం:

సంపీడన గాలి లేదా నత్రజని (0.2–0.6 MPa) అంతర్గత ఛానెళ్ల ద్వారా సరఫరా చేయబడి, ఖచ్చితత్వపు నాజిల్‌ల ద్వారా బయటకు వస్తుంది. వేగవంతమైన ఈ గాలి ప్రవాహం, ఎండ్ ఎఫెక్టర్ పైన ఒక అల్పపీడన మండలాన్ని (బెర్నౌలీ ప్రభావం) సృష్టిస్తుంది. ఇది, వేఫర్‌ను 50–200 μm అంతరంలో ఆసరా ఇచ్చే ఎత్తే బలాన్ని ఉత్పత్తి చేస్తుంది. వేఫర్ వెనుక భాగాన్ని తాకే వాక్యూమ్ రంధ్రాలు లేదా ప్యాడ్‌లు ఏవీ ఉండవు.

అప్లికేషన్లు:

• · వెనుక వైపు గ్రైండింగ్ తర్వాత పలుచని వేఫర్ (≤50 μm) నిర్వహణ
• · వంగిన వేఫర్ రవాణా (ఉదా, CVD లేదా అనీలింగ్ తర్వాత)
• · సోలార్ సెల్ మరియు LED నీలమణి సబ్‌స్ట్రేట్ బదిలీ
• · సున్నా కణాల ఉత్పత్తి అవసరమయ్యే క్లీన్‌రూమ్ ఆటోమేషన్
• · డిస్‌ప్లే తయారీలో గ్లాస్ ప్యానెల్ నిర్వహణ

తయారీ ప్రక్రియ:

అధిక స్వచ్ఛత గల పౌడర్ నుండి సింటరింగ్ చేయబడిన సిరామిక్ సబ్‌స్ట్రేట్ → గ్యాస్ ఛానెల్‌లు మరియు నాజిల్ రంధ్రాల (వ్యాసం 0.3–1.0 మిమీ, టాలరెన్స్ ±0.01 మిమీ) 5-యాక్సిస్ CNC మెషీనింగ్ → Ra ≤0.4 μm వరకు సర్ఫేస్ లాపింగ్ → అల్ట్రాసోనిక్ క్లీనింగ్ → హీలియం లీక్ టెస్ట్ (గ్యాస్ ఛానెల్‌లు). ఎటువంటి కోటింగ్ అవసరం లేదు — కేవలం సిరామిక్ ఉపరితలం రసాయనికంగా జడమైనది మరియు కలుషితం చేయనిది.

నాణ్యత నియంత్రణ:

• · నాజిల్ స్థానాలు, ఆర్మ్ పొడవు మరియు సమతలం యొక్క 100% డైమెన్షనల్ తనిఖీ (CMM)
• · గాలి ప్రవాహ ఏకరూపత పరీక్ష: అన్ని నాజిల్‌లలో పీడన తగ్గుదల ≤5%
• · లీక్ పరీక్ష: గ్యాస్ ఛానెల్‌లు 0.6 MPa వద్ద సీల్ చేయబడ్డాయి, 30 సెకన్ల పాటు పీడన తగ్గుదల లేదు
• · సూక్ష్మ పగుళ్లు లేదా బుర్రల కోసం 20× మైక్రోస్కోప్ కింద దృశ్య తనిఖీ

Aసాంప్రదాయ కాంటాక్ట్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్‌ల కంటే ప్రయోజనాలు:

• · వేఫర్ వెనుక భాగం కలుషితం కాదు — యాంత్రిక స్పర్శ ఉండదు
• · పలుచని వేఫర్‌ల అంచులు చిట్లడం లేదా విరగడం జరగదు
• · వంగిన వేఫర్‌లను (1 మిమీ వరకు వంపు ఉన్నవి) స్థిరమైన అంతరంతో నిర్వహించగలదు
• · వాక్యూమ్ జనరేటర్ మరియు పోరస్ చక్ నిర్వహణను తొలగిస్తుంది
• · సిరామిక్ నిర్మాణం అరుగుదల మరియు రసాయన దాడిని నిరోధిస్తుంది

అనుకూలీకరణ:

• · 200 మిమీ, 300 మిమీ, లేదా కస్టమ్ వేఫర్ సైజులలో లభిస్తుంది
• · గ్యాస్ నాజిల్ నమూనాలు: సరళ, కోణీయ, లేదా సుడిగుండం రకాలు
• · పదార్థాలు: అల్యూమినా (ప్రామాణికం) లేదా సిలికాన్ కార్బైడ్ (అత్యధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అరుగుదల నిరోధకత కోసం)
• · OEM డ్రాయింగ్ ప్రకారం ఆర్మ్ పొడవు, మౌంటింగ్ ఫ్లాంజ్ మరియు గ్యాస్ పోర్ట్ స్థానం

పరిమితులు:

బెర్నౌలీ సూత్రం అమలు (నాజిల్ డిజైన్, ఎయిర్ గ్యాప్) అందించిన మెటీరియల్ ప్రాపర్టీ పట్టికల పరిధికి వెలుపల ఉంది. పైన పేర్కొన్న యాంత్రిక మరియు ఉష్ణ లక్షణాలు 99.8% Al₂O₃ కోసం సరఫరా చేయబడిన డేటాషీట్‌లను ఖచ్చితంగా అనుసరిస్తాయి. ఈ మెటీరియల్ లక్షణాల ఆధారంగా, పీడనంతో కూడిన గ్యాస్ ప్రవాహం కింద సిరామిక్ పనితీరులో ఎటువంటి క్షీణత ఆశించబడదు. గ్యాస్ ప్రవాహానికి సున్నితమైన వేఫర్‌ల కోసం (ఉదాహరణకు, పెళుసైన నిర్మాణాలతో కూడిన MEMS), గ్యాస్ పీడనం మరియు నాజిల్ డిజైన్‌ను తదనుగుణంగా సర్దుబాటు చేయాలి.