సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ – అధిక ఉష్ణోగ్రత వేఫర్ నిర్వహణ కోసం అధిక దృఢత్వం
సెయింట్ సెరా వారి SiC సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్, S1111 బ్యాచ్ మెటీరియల్ను ఉపయోగించి అధిక-స్వచ్ఛత గల సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC కంటెంట్ 99.72%, ఫ్రీ Si 0.05%) నుండి తయారు చేయబడింది. ఇది అసాధారణమైన యాంత్రిక లక్షణాలను అందిస్తుంది: ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంగ్త్ 449 MPa (కొలవబడినది), ఎలాస్టిక్ మాడ్యులస్ 457 GPa (కొలవబడినది), మరియు వికర్స్ హార్డ్నెస్ 25–28 GPa (సాధారణమైనది). దీని తక్కువ సాంద్రత (3.10–3.15 g/cm³, సాధారణమైనది) అధిక నిర్దిష్ట దృఢత్వాన్ని అందిస్తుంది, ఇది హై-స్పీడ్ వేఫర్ ట్రాన్స్ఫర్ రోబోట్లకు అనువైనది. 120–150 W/m·K (సాధారణమైనది) ఉష్ణ వాహకత మరియు 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (సాధారణమైనది) ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకంతో, ఈ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిర్వహణ (1600–1700°C వరకు, లోడ్ లేకుండా) సమయంలో వేడిని సమర్థవంతంగా వెదజల్లి, పరిమాణ స్థిరత్వాన్ని కాపాడుతుంది. నలుపు/బూడిద రంగు మరియు నీటిని అస్సలు పీల్చుకోకపోవడం క్లీన్రూమ్కు అనుకూలతను నిర్ధారిస్తాయి.
స్పెసిఫికేషన్లు(అందించిన SiC S1111 పరీక్ష నివేదిక మరియు సాధారణ విలువల ఆధారంగా)):
| ఆస్తి | విలువ |
| పదార్థం | SiC (99.72% SiC, 0.05% ఫ్రీ Si) |
| రంగు | నలుపు/బూడిద రంగు |
| సాంద్రత | 3.10–3.15 గ్రా/సెంమీ³ |
| నీటి శోషణ | 0% |
| వంగుదల బలం | 449 MPa (సగటు) |
| ఫ్రాక్చర్ టఫ్నెస్ | 3.12 MPa·m¹/² (సగటు) |
| స్థితిస్థాపక గుణకం | 457 జీపీఏ |
| విక్కర్స్ కాఠిన్యం | 25–28 GPa |
| ఉష్ణ వాహకత (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| గరిష్ట వినియోగ ఉష్ణోగ్రత (లోడ్ లేకుండా) | 1600–1700°C |
అప్లికేషన్లు:
● అధిక-ఉష్ణోగ్రత వేఫర్ నిర్వహణ (పోస్ట్-అనీల్, RTP, ఎపిటాక్సీ)
● అధిక కోత నిరోధకత అవసరమయ్యే ప్లాస్మా ఎట్చ్ ఛాంబర్లు
● అధిక-వేగ బదిలీ రోబోట్లు (తేలికైనవి, అధిక దృఢత్వం)
తయారీ:
SiC పౌడర్ సింటరింగ్ → ఆర్మ్ ప్రొఫైల్ మరియు మౌంటింగ్ ఫీచర్ల యొక్క ప్రెసిషన్ CNC గ్రైండింగ్ → సర్ఫేస్ లాపింగ్ → అల్ట్రాసోనిక్ క్లీనింగ్. వాక్యూమ్ అప్లికేషన్ల కోసం 100% డైమెన్షనల్ ఇన్స్పెక్షన్ మరియు హీలియం లీక్ టెస్ట్.
నాణ్యత నియంత్రణ:
● పొడవు, వెడల్పు మరియు సమతలం యొక్క CMM తనిఖీ
● ప్రతి బ్యాచ్కు వంగుదల బలం పరీక్ష (పరీక్ష నివేదిక ప్రమాణం ప్రకారం)
● ఉపరితల లోపాల కోసం సూక్ష్మదర్శిని కింద దృశ్య తనిఖీ
అల్యూమినా లేదా లోహం కంటే ప్రయోజనాలు:
● 2 రెట్లు అధిక స్థితిస్థాపక గుణకం (అల్యూమినాకు ~380 GPa తో పోలిస్తే 457 GPa) – తక్కువ విచలనం
● 3 రెట్లు అధిక ఉష్ణ వాహకత – వేగవంతమైన ఉష్ణ వెదజల్లుడు
● గాలిలో అల్యూమినా యొక్క 800°C తో పోలిస్తే >1600°C ను తట్టుకుంటుంది
● ఉక్కు కన్నా తక్కువ సాంద్రత – 40% బరువు తగ్గింపు
అనుకూలీకరణ:
పొడవులు 150–450 మిమీ, కొన ఆకారాలు (ఎడ్జ్ గ్రిప్, బెర్నౌలీ, ఫ్లాట్), OEM డ్రాయింగ్ ప్రకారం మౌంటింగ్ ఫ్లాంజ్ నమూనాలు.
పైన పేర్కొన్న యాంత్రిక సమాచారం అంతా అందించిన పరీక్షా నివేదిక (బ్యాచ్ S1111) నుండి తీసుకోబడింది. ఉష్ణ మరియు కాఠిన్య విలువలు ఈ SiC గ్రేడ్కు సాధారణమైనవి; లాట్-నిర్దిష్ట ధృవీకరణ కోసం దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించండి.
