అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు ప్లాస్మా వాతావరణాల కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) ఆధారిత వాక్యూమ్ చక్
సెయింట్ సెరా వారి SiC-ఆధారిత సిరామిక్ చక్, అధిక స్వచ్ఛత గల సిలికాన్ కార్బైడ్ (బ్యాచ్ S1111, SiC 99.72%, ఫ్రీ Si 0.05%) నుండి తయారు చేయబడింది. ఇది 449 MPa కొలవబడిన ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంగ్త్, 3.12 MPa·m¹/² ఫ్రాక్చర్ టఫ్నెస్, మరియు 457 GPa ఎలాస్టిక్ మాడ్యులస్ను అందిస్తుంది. ఈ మెటీరియల్ యొక్క సాధారణ థర్మల్ కండక్టివిటీ (120–150 W/m·K) మరియు తక్కువ థర్మల్ ఎక్స్పాన్షన్ (4.0–4.5×10⁻⁶/℃), థర్మల్ సైక్లింగ్ సమయంలో వేగవంతమైన టెంపరేచర్ ర్యాంపింగ్ మరియు కనిష్ట వేఫర్ వార్పేజ్ను సాధ్యం చేస్తాయి. ఈ చక్ను పోరస్ వాక్యూమ్ చక్గా (ఏకరీతి గ్యాస్ ప్రవాహం) లేదా గ్రూవ్డ్ స్టాండర్డ్ చక్గా కాన్ఫిగర్ చేయవచ్చు. 1600–1700°C (లోడ్ లేకుండా) గరిష్ట వినియోగ ఉష్ణోగ్రత మరియు అసాధారణమైన ప్లాస్మా కోత నిరోధకతతో, ఈ చక్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ (అనీలింగ్, RTP) మరియు అల్యూమినా చక్లు క్షీణించే తీవ్రమైన ఎట్చ్ ఛాంబర్లకు ఆదర్శంగా ఉంటుంది.
స్పెసిఫికేషన్లు(అందించిన SiC S1111 పరీక్ష నివేదిక మరియు సాధారణ విలువల ఆధారంగా)):
| ఆస్తి | విలువ |
| పదార్థం | SiC (99.72% SiC, 0.05% ఫ్రీ Si) |
| సాంద్రత | 3.10–3.15 గ్రా/సెంమీ³ |
| నీటి శోషణ | 0% |
| వంగుదల బలం | 449 MPa |
| ఫ్రాక్చర్ టఫ్నెస్ | 3.12 MPa·m¹/² |
| స్థితిస్థాపక గుణకం | 457 జీపీఏ |
| విక్కర్స్ కాఠిన్యం | 25–28 GPa |
| ఉష్ణ వాహకత | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| గరిష్ట వినియోగ ఉష్ణోగ్రత (లోడ్ లేకుండా) | 1600–1700°C |
| సమతలం (300 మిమీ కంటే ఎక్కువ) | ≤5 μm |
| ఉపరితల ముగింపు | Ra ≤0.4 μm (లాప్డ్) |
అప్లికేషన్లు:
● అధిక-ఉష్ణోగ్రత చక్కింగ్ (అనీలింగ్, RTP, ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్)
● అధిక ఫ్లోరిన్ నిరోధకత కలిగిన ప్లాస్మా ఎట్చ్ చక్
● ఏకరీతి తాపన/శీతలీకరణతో పలుచని వేఫర్ నిర్వహణ
● నాన్-కాంటాక్ట్ వేఫర్ సపోర్ట్ కోసం పోరస్ చక్
తయారీ:
SiC సింటరింగ్ → సమతలం మరియు ఉపరితల ఆకృతి కోసం ప్రెసిషన్ గ్రైండింగ్ → ఐచ్ఛికంగా రంధ్రాల నిర్మాణం ఏర్పాటు (వాక్యూమ్ చక్ కోసం) → లాపింగ్ → అల్ట్రాసోనిక్ క్లీనింగ్. ప్రతి చక్ సమతలం (లేజర్ ఇంటర్ఫెరోమీటర్) మరియు వాక్యూమ్ ఏకరూపత (ఫ్లో టెస్ట్) కోసం 100% తనిఖీ చేయబడుతుంది.
నాణ్యత నియంత్రణ:
● CMM కొలతల తనిఖీ (వ్యాసం, మందం, రంధ్రాల స్థానాలు)
● ASTM ప్రకారం సమతలత కొలత
● హీలియం లీక్ పరీక్ష (వాక్యూమ్ చక్ల కోసం)
● ప్రతి బ్యాచ్కు వంగుదల బలం ధృవీకరణ (పరీక్ష నివేదిక చూడండి)
అల్యూమినా చక్ల కంటే ప్రయోజనాలు:
● అధిక ఉష్ణ వాహకత (అల్యూమినాకు 32 W/m·K తో పోలిస్తే 120–150) – 4 రెట్లు వేగవంతమైన ఉష్ణ బదిలీ
● తక్కువ CTE (4.0 vs 7.2×10⁻⁶/℃) – వేఫర్ ఉష్ణ ఒత్తిడిని తగ్గిస్తుంది
● అత్యుత్తమ ప్లాస్మా నిరోధకత – ఫ్లోరిన్ ఎచ్లో 10 రెట్లు ఎక్కువ జీవితకాలం
● అధిక గరిష్ట వినియోగ ఉష్ణోగ్రత (అల్యూమినాకు 800°C తో పోలిస్తే 1600°C)
అనుకూలీకరణ:
● రంధ్రాలు లేదా గాడి ఉన్న ఉపరితలం
● వ్యాసం 100–450 మిమీ, గుండ్రంగా లేదా చతురస్రాకారంలో
● ఎడ్జ్ సీలింగ్ రింగ్ లేదా జోన్ వాక్యూమ్ పార్టిషన్లు
● అధిక దృఢత్వంతో అమర్చడానికి మెటల్ బ్యాకింగ్ ఎంపిక
పైన ఉన్న యాంత్రిక డేటా అంతా సరఫరా చేయబడిన పరీక్ష నివేదిక (బ్యాచ్ S1111) నుండి తీసుకోబడింది. ఉష్ణ మరియు కాఠిన్య విలువలు ఈ SiC గ్రేడ్కు సాధారణమైనవి. సచ్ఛిద్ర SiC చక్లకు అదనపు ప్రాసెసింగ్ అవసరం; దయచేసి నిర్దిష్ట సచ్ఛిద్రత మరియు రంధ్రాల పరిమాణం లభ్యత కోసం విచారించండి.
