300mm వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం 12-అంగుళాల అల్యూమినా వాక్యూమ్ చక్
సెయింట్ సెరా వారి 12-అంగుళాల వాక్యూమ్ చక్, 300mm వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ కోసం 99.8% అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃)తో అత్యంత కచ్చితత్వంతో రూపొందించబడింది. ఈ చక్, మొత్తం 300mm వ్యాసం అంతటా వాక్యూమ్ ఏకరీతిగా పంపిణీ అయ్యేలా చూసేందుకు, సన్నని గాడిగల ఉపరితలాన్ని (గాడి వెడల్పు 0.5–1.0 mm, పిచ్ 2–3 mm) కలిగి ఉంటుంది. దీని సమతలం 5 μm లోపల నిర్వహించబడుతుంది, ఇది డైసింగ్, బ్యాక్సైడ్ గ్రైండింగ్ మరియు తనిఖీ సమయంలో వేఫర్ను వంకర లేకుండా స్థిరంగా ఉంచడానికి వీలు కల్పిస్తుంది. ఈ మెటీరియల్ యొక్క అధిక వంగుడు బలం (361 MPa) మరియు కాఠిన్యం (16 GPa), పదేపదే వాక్యూమ్ సైకిల్స్ కింద కూడా దీర్ఘకాలిక కొలతల స్థిరత్వానికి హామీ ఇస్తాయి.
స్పెసిఫికేషన్లు (99.8% Al₂O₃ ఆధారంగా):
| ఆస్తి | విలువ |
| వ్యాసం | 300 మిమీ (12 అంగుళాలు) |
| పదార్థం | 99.8% అల్యూమినా (ఐవరీ) |
| సాంద్రత | 3.93 గ్రా/సెంమీ³ |
| వంగుదల బలం | 361 MPa |
| విక్కర్స్ కాఠిన్యం | 16 జీపీఏ |
| సమతలం (300 మిమీ కంటే ఎక్కువ) | ≤5 μm |
| గాడి వెడల్పు | 0.5–1.0 మి.మీ. |
| గరిష్ట నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత | 800°C |
| విద్యుద్వాహక బలం | 15×10⁶ V/m |
అప్లికేషన్లు:
300mm వేఫర్ డైసింగ్ మరియు స్క్రిబింగ్
వేఫర్ వెనుక భాగం గ్రైండింగ్ (సన్నని వేఫర్ సపోర్ట్)
ఆప్టికల్ తనిఖీ మరియు పరిశీలన
తాత్కాలిక బాండింగ్/డీబాండింగ్ చక్స్
తయారీ:
CNC గ్రౌండింగ్ మరియు తుది సమతలం కోసం లాపింగ్ చేసి, డైమండ్ వీల్స్తో గ్రూవ్లు చేసి, అల్ట్రాసోనిక్గా శుభ్రపరిచి, క్లాస్ 100 క్లీన్రూమ్లో ప్యాక్ చేయబడింది. ప్రతి చక్ సమతలం (లేజర్ ఇంటర్ఫెరోమీటర్) మరియు గ్రూవ్ లోతు (ప్రొఫైలోమీటర్) కోసం 100% తనిఖీ చేయబడుతుంది.
ప్రయోజనాలు:
తక్కువ కణాల ఉత్పత్తి (≤0.05 కణాలు/సెం.మీ²)
ద్రావకాలు మరియు ఆమ్లాల పట్ల రసాయనికంగా జడమైనది
ESD-సురక్షిత ఉపరితలం (నిరోధకత >10¹³ Ω·cm)
కస్టమ్ వాక్యూమ్ హోల్ ప్యాటర్న్లు మరియు బ్యాక్సైడ్ పోర్ట్లు అందుబాటులో ఉన్నాయి.
