కస్టమ్ పోరస్ సిరామిక్ వాక్యూమ్ చక్ తయారీదారులు మరియు సరఫరాదారులు

పలుచని వేఫర్‌లను నిర్వహించడానికి అల్యూమినా ఆధారిత పోరస్ సిరామిక్ వాక్యూమ్ చక్ ఫీచర్డ్ ఇమేజ్

పలుచని వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ కోసం అల్యూమినా ఆధారిత పోరస్ సిరామిక్ వాక్యూమ్ చక్

సంక్షిప్త వివరణ:

సెయింట్ సెరా యొక్క అల్యూమినా ఆధారిత పోరస్ చక్, 99.6% అధిక స్వచ్ఛత గల Al₂O₃తో తయారు చేయబడింది. ఇది 30–45% నియంత్రిత ఓపెన్ పోరోసిటీని మరియు 10 నుండి 50 μm వరకు ఏకరీతి రంధ్ర పరిమాణాన్ని కలిగి ఉంటుంది. గ్రూవ్డ్ చక్‌ల వలె కాకుండా, ఈ పోరస్ ఉపరితలం వేఫర్ వెనుక భాగం అంతటా విస్తరించిన వాక్యూమ్‌ను అందిస్తుంది. ఇది అంచులపై గుర్తులు పడకుండా నివారిస్తుంది మరియు అతి పలుచని (≤100 μm) లేదా వంగిన వేఫర్‌లను సున్నితంగా పట్టుకోవడానికి వీలు కల్పిస్తుంది. ఈ మెటీరియల్ ≥250 MPa ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంగ్త్‌ను మరియు గాలిలో 400°C వరకు థర్మల్ స్టెబిలిటీని అందిస్తుంది.

మాకు ఇమెయిల్ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరాలు

ఉత్పత్తి ట్యాగ్‌లు

స్పెసిఫికేషన్లు(99.6% Al ఆధారంగా)₂O₃):

ఆస్తి	విలువ
పదార్థం	99.6% అల్యూమినా (తెలుపు)
పోరసిటీ	30–45% (సర్దుబాటు చేయదగినది)
సగటు రంధ్ర పరిమాణం	10–50 μm
వంగుదల బలం	≥250 MPa
సాంద్రత	3.88 గ్రా/సెంమీ³
సమతలం (200 మిమీ కంటే ఎక్కువ)	≤5 μm
గరిష్ట నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత	400°C (గాలి)
ఉపరితల ముగింపు	లాప్డ్ (Ra ≤0.8 μm)

అప్లికేషన్లు:

· పలుచని వేఫర్ (≤50 μm) వెనుక వైపు గ్రైండింగ్
· డైసింగ్ కోసం వార్ప్డ్ వేఫర్ మౌంటింగ్
· సింగ్యులేటెడ్ డై పిక్-అప్
· గాజు సబ్‌స్ట్రేట్ నిర్వహణ

తయారీ:

పౌడర్‌ను పోర్ ఫార్మర్‌లతో కలపడం → ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్ → 1600°C వద్ద సింటరింగ్ → తుది మందానికి లాపింగ్ చేయడం. ప్రతి చక్‌ను వాక్యూమ్ ఏకరూపత (పీడన విచలనం <5%) కోసం ఫ్లో-టెస్ట్ చేస్తారు మరియు పోర్ సైజ్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ (SEM) కోసం తనిఖీ చేస్తారు.

సాంప్రదాయ చక్‌ల కంటే ప్రయోజనాలు: