అల్యూమినా ఆధారిత ప్రామాణిక వాక్యూమ్ చక్ – ఖచ్చితమైన మెషీనింగ్ కోసం అధిక దృఢత్వం
ఈ అల్యూమినా ఆధారిత వాక్యూమ్ చక్ 99.8% Al₂O₃ తో తయారు చేయబడింది, ఇది కస్టమ్ వాక్యూమ్ గ్రూవ్ నమూనాలతో నునుపైన, రంధ్రాలు లేని ఉపరితలాన్ని అందిస్తుంది. ఇది అసాధారణమైన దృఢత్వాన్ని (యంగ్స్ మాడ్యులస్ 380 GPa) మరియు సమతలాన్ని (≤3 μm) అందిస్తుంది, అందువల్ల సెమీకండక్టర్ వేఫర్లు మరియు ఆప్టికల్ కాంపోనెంట్ల యొక్క ప్రెసిషన్ గ్రైండింగ్, లాపింగ్ మరియు డైసింగ్ కోసం ఇది ఆదర్శంగా ఉంటుంది. ఈ మెటీరియల్ యొక్క అధిక ఉష్ణ వాహకత (32 W/m·k) ప్రాసెసింగ్ సమయంలో ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపతను నిర్ధారిస్తుంది.
స్పెసిఫికేషన్లు(99.8% Al ఆధారంగా)₂O₃):
| ఆస్తి | విలువ |
| పదార్థం | 99.8% అల్యూమినా (ఐవరీ) |
| సాంద్రత | 3.93 గ్రా/సెంమీ³ |
| వంగుదల బలం | 361 MPa |
| విక్కర్స్ కాఠిన్యం | 16 జీపీఏ |
| యంగ్స్ మాడ్యులస్ | 380 GPa |
| ఉష్ణ వాహకత | 32 W/m·k |
| సమతలం | ≤3 μm (200mm పైగా) |
| ఉపరితల గరుకుదనం (చక్ వైపు) | Ra ≤0.4 μm |
| గరిష్ట నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత | 800°C |
అప్లికేషన్లు:
- · వేఫర్ వెనుక భాగాన్ని గ్రైండింగ్ చేయడం (స్థూలంగా మరియు సూక్ష్మంగా)
- · పెళుసు పదార్థాలను ఖచ్చితంగా ముక్కలుగా కోయడం
- · సిరామిక్ సబ్స్ట్రేట్ల లాపింగ్
- · ఆప్టికల్ లెన్స్ పాలిషింగ్
తయారీ:
రెండు వైపులా ఖచ్చితమైన లాపింగ్ → డైమండ్ గ్రూవింగ్ (ఐచ్ఛికం) → అంచులను గుండ్రంగా చేయడం → అల్ట్రాసోనిక్ క్లీనింగ్ → లేజర్ ఇంటర్ఫెరోమీటర్తో 100% సమతలత తనిఖీ.
Aప్రయోజనాలు:
- · దృఢమైన ఆధారం భారం కింద వంగడాన్ని తగ్గిస్తుంది
- · రంధ్రాల నిర్మాణం నుండి కణాల ఉత్పత్తి జరగదు
- · శుభ్రపరచడం సులభం (సాల్వెంట్-వైప్కు అనుకూలమైనది)
- · వాక్యూమ్ గాడులను అనుకూలీకరించవచ్చు (కేంద్రీయ, వ్యాసార్థ, అనుకూల నమూనాలు)
అందుబాటులో ఉన్న సైజులు:
గుండ్రం: 100మిమీ, 150మిమీ, 200మిమీ, 300మిమీ; అభ్యర్థన మేరకు చతురస్రం/దీర్ఘచతురస్రం.
అధిక యాంత్రిక బలం కోసం మేము లోహ ఆధారిత వెర్షన్లను కూడా అందిస్తాము.











