ప్లాస్మా ఎట్చ్ & CVD సిస్టమ్ల కోసం అధిక-స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా ఛాంబర్ ఫోకస్ రింగ్
సెయింట్ సెరా వారి ఛాంబర్ ఫోకస్ రింగ్ అనేది ప్లాస్మా ఎట్చ్, CVD, మరియు PVD సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో ఉపయోగించే ఒక కీలకమైన ప్రాసెస్ కిట్ భాగం. 99.8% అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃)తో తయారు చేయబడిన ఈ రింగ్, ప్లాస్మాను పరిమితం చేయడానికి మరియు అయాన్ కోణీయ పంపిణీని ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి వేఫర్ అంచును చుట్టుముడుతుంది, తద్వారా వేఫర్ ఉపరితలం అంతటా ఎట్చ్ ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తుంది. ఈ మెటీరియల్ అసాధారణమైన ప్లాస్మా నిరోధకతను, అధిక డైఎలెక్ట్రిక్ బలాన్ని (15×10⁶ V/m), మరియు 1600°C వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది, ఇది తీవ్రమైన ఫ్లోరిన్- లేదా క్లోరిన్-ఆధారిత ప్లాస్మా వాతావరణాలలో దీర్ఘకాలిక విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తుంది. ఖచ్చితంగా గ్రౌండ్ చేయబడిన ID/OD మరియు ఫ్లాట్నెస్ (≤10 μm) వేఫర్ అంచును కచ్చితంగా ఉంచడానికి వీలు కల్పిస్తాయి, అంచు లోపాలను మరియు కణాల ఉత్పత్తిని తగ్గిస్తాయి.
స్పెసిఫికేషన్లు(99.8% Al ఆధారంగా)₂O₃):
| ఆస్తి | విలువ |
| పదార్థం | 99.8% అల్యూమినా (ఐవరీ) |
| సాంద్రత | 3.93 గ్రా/సెంమీ³ |
| నీటి శోషణ | 0% |
| వంగుదల బలం | 361 MPa |
| ఫ్రాక్చర్ టఫ్నెస్ | 3–4 MPa·m¹/² |
| విక్కర్స్ కాఠిన్యం | 16 జీపీఏ |
| యంగ్స్ మాడ్యులస్ | 380 GPa |
| ఉష్ణ వాహకత | 32 W/m·k |
| ఉష్ణ వ్యాకోచం (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| విద్యుద్వాహక బలం | 15×10⁶ V/m |
| నిర్దిష్ట నిరోధకత | >10¹⁴ Ω·cm |
| గరిష్ట నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత | 1600°C |
అప్లికేషన్లు:
- · డైఎలెక్ట్రిక్ ఎట్చ్ ఛాంబర్ ఫోకస్ రింగులు (ఆక్సైడ్, నైట్రైడ్ ఎట్చ్)
- · సిలికాన్ ఎట్చ్ ఛాంబర్ ఎడ్జ్ రింగులు
- · CVD ఛాంబర్ ప్రాసెస్ కిట్ రింగులు
- · PVD ఛాంబర్ షీల్డ్ మరియు క్లాంప్ రింగులు
తయారీ ప్రక్రియ:
అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా పొడిని ఐసోస్టాటిక్గా ప్రెస్ చేస్తారు → దాదాపు తుది ఆకృతికి గ్రీన్ మెషీన్ చేస్తారు → 1600°C వద్ద సింటరింగ్ చేస్తారు → లోపలి వ్యాసం (ID), బయటి వ్యాసం (OD), మరియు మందాన్ని CNC డైమండ్ గ్రైండింగ్ చేస్తారు → ≤10 μm చదునుదనాన్ని సాధించడానికి లాపింగ్ చేస్తారు → అల్ట్రాసోనిక్ క్లీనింగ్ చేస్తారు → 100% CMM తనిఖీ చేస్తారు. ఉపరితల ఫినిష్ Ra ≤0.4 μm కణాల అంటుకోవడాన్ని తగ్గిస్తుంది.
నాణ్యత నియంత్రణ:
- · 100% కొలతల తనిఖీ (లోపలి వ్యాసం, బయటి వ్యాసం, మందం, సమాంతరత)
- · సూక్ష్మ పగుళ్ల కోసం డై పెనెట్రెంట్ పరీక్ష (పగుళ్లు ఉండకూడదు)
- · 20× మైక్రోస్కోప్ కింద దృశ్య తనిఖీ — పగుళ్లు, ఖాళీలు లేదా రంగు మారడం లేవు
- · ASTM D149 ప్రకారం విద్యున్నిరోధక శక్తి పరీక్ష (నమూనా సేకరణ)
సిలికాన్ లేదా క్వార్ట్జ్ ఫోకస్ రింగ్ల కంటే ప్రయోజనాలు:
- · ఫ్లోరోకార్బన్ ప్లాస్మాలో 5–10 రెట్లు ఎక్కువ జీవితకాలం
- · వేఫర్లను కలుషితం చేసే వినియోగించదగిన కోత కణాలు లేవు
- · అధిక విద్యున్నిరోధక శక్తి ఆర్కింగ్ను నివారిస్తుంది
- · వేల RF గంటల పాటు సమతలాన్ని మరియు కొలతల కచ్చితత్వాన్ని నిర్వహిస్తుంది
ప్రత్యామ్నాయ పదార్థం — యట్రియా-స్థిరీకరించిన జిర్కోనియా (ZrO₂):
అధిక ఫ్రాక్చర్ టఫ్నెస్ అవసరమయ్యే అప్లికేషన్ల కోసం (ఉదాహరణకు, తరచుగా థర్మల్ సైక్లింగ్ లేదా మెకానికల్ షాక్కు గురయ్యే ఛాంబర్లు), ZrO₂ ఫోకస్ రింగ్లు (సాంద్రత 6.03 g/cm³, ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంగ్త్ 1000 MPa, ఫ్రాక్చర్ టఫ్నెస్ 5–8 MPa·m¹/²) అందుబాటులో ఉన్నాయి. అయితే, అల్యూమినా మెరుగైన ఖర్చు-సమర్థతను అందిస్తుంది మరియు చాలా ఫోకస్ రింగ్ అప్లికేషన్లకు ఇది ఇండస్ట్రీ స్టాండర్డ్గా ఉంది.
అనుకూలీకరణ:
- · కస్టమర్ డ్రాయింగ్ ప్రకారం స్టెప్ ప్రొఫైల్స్, కౌంటర్బోర్స్ లేదా మౌంటింగ్ హోల్స్
- · మెరుగైన ప్లాస్మా కోత నిరోధకత కోసం Y₂O₃ పూత (మందం 20–100 μm)
- · పార్ట్ నంబర్, తేదీ కోడ్ లేదా అలైన్మెంట్ మార్కులను లేజర్తో గుర్తించడం
గమనిక:సమస్త డేటా సరఫరా చేయబడిన Al₂O₃ లక్షణాల పట్టికను ఖచ్చితంగా అనుసరిస్తుంది. ZrO₂ నిర్దేశాల కోసం, సరఫరా చేయబడిన జిర్కోనియా డేటాషీట్ను చూడండి. ఫోకస్ రింగ్ డిజైన్లకు పేటెంట్ అనుమతి అవసరం కావచ్చు — మేధో సంపత్తి హక్కులను ధృవీకరించుకోవాల్సిన బాధ్యత వినియోగదారులదే.
