ఖచ్చితమైన డైసింగ్ & గ్రైండింగ్ కోసం అల్యూమినా వాక్యూమ్ చక్
సెయింట్ సెరా యొక్క అల్యూమినా వాక్యూమ్ చక్, 99.8% అధిక స్వచ్ఛత గల Al₂O₃తో మరియు ఖచ్చితత్వంతో మెషిన్ చేయబడిన వాక్యూమ్ గ్రూవ్లతో తయారు చేయబడింది. మా ఖచ్చితత్వ గ్రైండింగ్ సామర్థ్యం 0.003mm సమతలాన్ని మరియు 0.002mm సమాంతరతను సాధిస్తుంది, ఇది డైసింగ్, బ్యాక్సైడ్ గ్రైండింగ్ మరియు తనిఖీ సమయంలో వేఫర్ వంగిపోకుండా స్థిరంగా ఉండేలా నిర్ధారిస్తుంది. ఈ మెటీరియల్ అధిక వంగుడు బలాన్ని (361 MPa), కాఠిన్యాన్ని (16 GPa) మరియు 800°C వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. 600mm వెలుపలి వ్యాసం (OD) వరకు గుండ్రని ఆకారాలలో మరియు 1500mm పొడవు వరకు దీర్ఘచతురస్రాకార ఆకృతులలో ఇది అందుబాటులో ఉంది. నిర్దిష్ట ప్రక్రియ అవసరాలకు అనుగుణంగా వాక్యూమ్ గ్రూవ్లు కస్టమ్-డిజైన్ చేయబడతాయి (కేంద్రీయ, రేడియల్ లేదా గ్రిడ్ నమూనాలలో). ప్రతి చక్ లేజర్ ఇంటర్ఫెరోమీటర్తో తనిఖీ చేయబడుతుంది మరియు సమతలం ధృవీకరణ నివేదికతో సరఫరా చేయబడుతుంది.
స్పెసిఫికేషన్లు (99.8% అల్యూమినియం ఆధారంగా)₂O₃& సెయింట్ సెరా తయారీ సామర్థ్యాలు):
| ఆస్తి | విలువ |
| పదార్థం | 99.8% అల్యూమినా (ఐవరీ) |
| సాంద్రత | 3.93 గ్రా/సెంమీ³ |
| వంగుదల బలం | 361 MPa |
| విక్కర్స్ కాఠిన్యం | 16 జీపీఏ |
| బయటి వ్యాసం (గరిష్టంగా) | 600మి.మీ |
| మందం (గరిష్ట) | 100మి.మీ |
| పొడవు (గరిష్ట) | 1500మి.మీ |
| సమతలం | 0.003మి.మీ |
| సమాంతరత | 0.002మి.మీ |
| ఉపరితల ముగింపు | Ra0.1 |
| గరిష్ట నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత | 800°C |
అప్లికేషన్లు:
- · వేఫర్ డైసింగ్ మరియు స్క్రిబింగ్ (200mm/300mm మరియు అంతకంటే పెద్దవి)
- · పలుచని వేఫర్ల వెనుక భాగం గ్రైండింగ్
- · ఆప్టికల్ తనిఖీ మరియు పరిశీలన
- · పెద్ద సబ్స్ట్రేట్ నిర్వహణ
తయారీలో కచ్చితత్వం:
- · సరళత: 0.005మి.మీ
- · లంబత్వం: 0.005మి.మీ
- · గుండ్రదనం: 0.002మి.మీ
- · ఏకాక్షత: 0.01మి.మీ








