అధిక-ఉష్ణోగ్రత చాంబర్ సీలింగ్ కోసం అధిక-స్వచ్ఛత అల్యూమినా సిరామిక్ సీల్ రింగ్
సెయింట్ సెరా యొక్క సిరామిక్ సీల్ రింగ్, ఎలాస్టోమర్లు క్షీణించే తీవ్రమైన వాతావరణాలలో పాలిమర్ ఓ-రింగ్లకు ప్రత్యామ్నాయంగా రూపొందించబడింది. 99.8% అధిక-స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃) నుండి తయారు చేయబడిన ఈ దృఢమైన సీల్ రింగ్, స్టాటిక్ సీలింగ్ అనువర్తనాలలో ఉపయోగించబడుతుంది — సాధారణంగా మృదువైన లోహం లేదా గ్రాఫైట్ గాస్కెట్తో జతచేయబడి — 800°C వరకు ఉష్ణోగ్రతల వద్ద మరియు తీవ్రమైన ప్లాస్మా లేదా రసాయన వాతావరణాలలో నమ్మకమైన వాక్యూమ్ లేదా గ్యాస్ నిరోధాన్ని అందించడానికి. ఈ మెటీరియల్ సున్నా అవుట్గ్యాసింగ్, అధిక సంపీడన బలం (అంతర్లీన ఫ్లెక్సురల్ బలం 361 MPa), మరియు రసాయన జడత్వాన్ని (HF మినహా హాలోజన్లు, ఆమ్లాలు మరియు క్షారాలకు నిరోధకత) అందిస్తుంది. ఖచ్చితంగా లాప్ చేయబడిన సీలింగ్ ఉపరితలాలు (ఫ్లాట్నెస్ ≤5 μm, ఉపరితల గరుకుదనం Ra ≤0.2 μm) జతచేయబడిన లోహ లేదా సిరామిక్ భాగాలతో లీక్-టైట్ కాంటాక్ట్ను నిర్ధారిస్తాయి.
స్పెసిఫికేషన్లు(99.8% Al ఆధారంగా)₂O₃):
| ఆస్తి | విలువ |
| పదార్థం | 99.8% అల్యూమినా (ఐవరీ) |
| సాంద్రత | 3.93 గ్రా/సెంమీ³ |
| నీటి శోషణ | 0% |
| వంగుదల బలం | 361 MPa |
| సంపీడన బలం (అంచనా) | >2000 MPa |
| విక్కర్స్ కాఠిన్యం | 16 జీపీఏ |
| ఉష్ణ వ్యాకోచం (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| గరిష్ట నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత | 800°C (గాలి), 1600°C (జడ పదార్థం) |
| ఉపరితల ముగింపు (సీలింగ్ ఫేస్) | Ra ≤0.2 μm (లాప్డ్) |
| సమతలం (ప్రతి 25 మిమీకి) | ≤5 μm |
| హీలియం లీక్ రేటు | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (తగిన గాస్కెట్తో) |
అప్లికేషన్లు:
- · సెమీకండక్టర్ ప్రాసెస్ ఛాంబర్ స్టాటిక్ సీల్స్ (CVD, PVD, ఎచ్)
- · అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఫర్నేస్ డోర్ సీల్స్
- · వాక్యూమ్ ఫీడ్త్రూ ఫ్లాంజ్లు
- · రసాయన రియాక్టర్ పాత్ర మూసివేతలు
తయారీ ప్రక్రియ:
ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్ → 1600°C వద్ద సింటరింగ్ → అత్యంత చదునైన, నునుపైన సీలింగ్ ఉపరితలాలను సాధించడానికి ఖచ్చితమైన డబుల్-సైడ్ లాపింగ్ → ఎడ్జ్ చాంఫరింగ్ → అల్ట్రాసోనిక్ క్లీనింగ్. ప్రతి రింగ్ను ఒక ప్రామాణిక మెటల్ గాస్కెట్తో హీలియం లీక్ డిటెక్టర్పై 100% లీక్-టెస్ట్ చేస్తారు.
నాణ్యత నియంత్రణ:
- · CMM కొలతల తనిఖీ (ID, OD, మందం, సమాంతరత)
- · Ra మరియు తరంగాల కోసం ఉపరితల ప్రొఫైలోమీటర్
- · ఆప్టికల్ ఫ్లాట్ ఉపయోగించి సమతలత కొలత
- · హీలియం లీక్ పరీక్ష (బ్యాక్-ప్రెషరైజేషన్ పద్ధతి)
పాలిమర్ ఓ-రింగ్ల కంటే ప్రయోజనాలు:
- · FFKM కోసం 800°C వర్సెస్ <300°C తట్టుకుంటుంది
- · వాయువుల వెలువడటం సున్నా — వాక్యూమ్ వాతావరణం కలుషితం కాదు
- · అన్ని ప్లాస్మా రసాయనాలకు (ఫ్లోరిన్, క్లోరిన్, ఆక్సిజన్) నిరోధకత కలిగి ఉంటుంది
- · సంపీడన సెట్ లేదా శాశ్వత వైకల్యం ఉండదు
- · శుభ్రమైన వాతావరణంలో అపరిమిత సేవా జీవితం
పరిమితులు (విమర్శనాత్మక వ్యాఖ్యలు):
- · ఓ-రింగ్ కాదు— ఇది ఒక దృఢమైన సిరామిక్ రింగ్, దీనిని సీల్ చేయడానికి మృదువైన గాస్కెట్ (రాగి, అల్యూమినియం, లేదా గ్రాఫైట్) అవసరం.
- · డైనమిక్ చలనం లేదా పెద్ద ఫ్లాంజ్ తప్పు అమరికకు అనుకూలించదు.
- · పాలిమర్ ఓ-రింగ్ల కంటే ప్రారంభ ఖర్చు ఎక్కువ, కానీ ఎక్కువ కాలం మన్నిక యాజమాన్య ఖర్చును తగ్గిస్తుంది.
- · పెళుసుగా ఉంటుంది — జాగ్రత్తగా వాడండి; ఒకే చోట బలంగా కొట్టడం లేదా వంచడం వంటి ఒత్తిడిని నివారించండి.
గమనిక:పైన ఉన్న డేటా, అందించబడిన Al₂O₃ లక్షణాల పట్టికను ఖచ్చితంగా అనుసరిస్తుంది. ఎలాస్టోమెరిక్ పదార్థాల కోసం ఎటువంటి డేటా అందించబడలేదు. ఈ ఉత్పత్తి ఒక స్టాటిక్ సీల్ రింగ్, ఎలాస్టోమెరిక్ O-రింగ్ కాదు. ఇది మీ అప్లికేషన్ అవసరాలకు సరిపోతుందో లేదో దయచేసి నిర్ధారించండి.
