వంగిన వేఫర్ నిర్వహణ కోసం రంధ్రాలుగల సిరామిక్ వాక్యూమ్ చక్
సెయింట్ సెరా యొక్క పోరస్ సిరామిక్ చక్, 30–45% ఏకరీతి ఓపెన్ పోరోసిటీ మరియు 10 నుండి 100 μm పరిధిలో ఉండే రంధ్రాల పరిమాణాలతో, అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినాతో రూపొందించబడింది. సాంప్రదాయ గ్రూవ్డ్ చక్ల వలె కాకుండా, ఈ పోరస్ ఉపరితలం వేఫర్ వెనుక భాగం అంతటా విస్తరించిన వాక్యూమ్ను అందిస్తుంది. ఇది వంకరగా, పలుచగా, లేదా విడివిడిగా ఉన్న వేఫర్లను అంచులు పైకి లేవకుండా లేదా విరిగిపోకుండా సమర్థవంతంగా పట్టి ఉంచుతుంది. ఈ సున్నితమైన వాక్యూమ్ (రిస్ట్రిక్టర్ ద్వారా సర్దుబాటు చేయవచ్చు) వెనుక భాగంలో గుర్తులు పడకుండా కూడా నివారిస్తుంది.
స్పెసిఫికేషన్లు(99.6% Al ఆధారంగా)₂O₃):
| ఆస్తి | విలువ |
| పోరసిటీ | 30–45% |
| సగటు రంధ్ర పరిమాణం | 10–100 μm (ఎంచుకోదగినది) |
| వంగుదల బలం | ≥250 MPa |
| సమతలం (300 మిమీ కంటే ఎక్కువ) | ≤5 μm |
| ఉపరితల ముగింపు | లాప్డ్ (Ra 0.8 μm) |
| గరిష్ట వాక్యూమ్ స్థాయి | -80 kPa |
| నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత | 400°C (గాలి), 600°C (జడ పదార్థం) |
| పదార్థం | 99.6% Al₂O₃, ZrO₂, లేదా SiC |
అప్లికేషన్లు:
పలుచని వేఫర్ (≤50 μm) వెనుక వైపు గ్రైండింగ్
డైసింగ్ కోసం వార్ప్డ్ వేఫర్ మౌంటింగ్
టేప్ నుండి వేరు చేయబడిన డై పికప్
గాజు ప్యానెల్ నిర్వహణ
తయారీ మరియు నాణ్యత:
సిరామిక్ పొడిని సేంద్రీయ రంధ్రాలను ఏర్పరిచే పదార్థాలతో కలిపి → నొక్కి → సింటరింగ్ చేసి → తుది మందానికి లాపింగ్ చేస్తారు. ప్రతి చక్ను వాక్యూమ్ ఏకరూపత (≤5% విచలనం) కోసం ఫ్లో-టెస్ట్ చేసి, రంధ్రాల పరిమాణ పంపిణీ (SEM) కోసం తనిఖీ చేస్తారు. లేజర్ ఇంటర్ఫెరోమీటర్తో సమతలాన్ని కొలుస్తారు.
గ్రూవ్డ్ చక్స్ కంటే ప్రయోజనాలు:
వేఫర్ అంచు మార్కింగ్ లేదా డై షిఫ్ట్ లేదు
వంగిన వేఫర్లను (500 μm వరకు వంపు) పట్టుకుంటుంది
వాక్యూమ్ రంధ్రం మూసుకుపోవడాన్ని నివారిస్తుంది
పలుచని ఉపరితలాల కోసం స్వీయ-సమతలీకరణ మద్దతు
అనుకూలీకరణ:
గుండ్రని లేదా దీర్ఘచతురస్రాకార ఆకృతులు, 600 మిమీ వరకు పరిమాణం. మేము అంచు సీలింగ్ రింగులు లేదా జోన్ వాక్యూమ్ విభజనలను అమర్చగలము. అధిక దృఢత్వ అవసరాల కోసం లోహపు ఆధారం గల వెర్షన్లు అందుబాటులో ఉన్నాయి.
మీ వేఫర్ పరిమాణం మరియు వంపు పరీక్ష కోసం ఒక నమూనాను అభ్యర్థించండి.
