-
వేఫర్ నిర్వహణ కోసం అధిక-స్వచ్ఛత అల్యూమినా సిరామిక్ రోబోట్ ఆర్మ్
సెయింట్ సెరా యొక్క అల్యూమినా సిరామిక్ రోబోట్ ఆర్మ్, 99.8% అధిక స్వచ్ఛత గల Al₂O₃ (అల్యూమినా)తో అత్యంత కచ్చితత్వంతో రూపొందించబడింది. ఇది అసాధారణమైన వంగుదల బలం (361 MPa), అధిక కాఠిన్యం (16 GPa), మరియు తక్కువ సాంద్రత (3.93 g/cm³)లను మిళితం చేస్తుంది, ఫలితంగా సెమీకండక్టర్ వేఫర్ బదిలీ కోసం తేలికైన ఇంకా దృఢమైన ఆర్మ్ ఏర్పడుతుంది. ఈ పదార్థం యొక్క ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకం (7.2×10⁻⁶/°C) సిలికాన్తో చాలా దగ్గరగా సరిపోలుతుంది, ఇది ప్రాసెసింగ్ సమయంలో ఉష్ణ అసమతుల్యతను తగ్గిస్తుంది.
-
బెర్నౌలీ సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ — పలుచని మరియు పెళుసైన వేఫర్ల కోసం స్పర్శరహిత వేఫర్ నిర్వహణ
సెయింట్ సెరా వారి బెర్నౌలీ సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్, వేఫర్లను భౌతిక స్పర్శ లేకుండా నిర్వహించడానికి ఏరోడైనమిక్ లిఫ్ట్ను ఉపయోగిస్తుంది. అధిక స్వచ్ఛత గల 99.8% అల్యూమినా (Al₂O₃) లేదా సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) తో తయారు చేయబడిన దీనిలో, ఎండ్ ఎఫెక్టర్ మరియు వేఫర్ మధ్య ఒక పలుచని గాలి పొరను సృష్టించడానికి పీడనంతో కూడిన వాయువును వెలికితీసే ఖచ్చితత్వంతో యంత్రాలతో తయారు చేయబడిన నాజిల్స్ ఉంటాయి. ఈ స్పర్శరహిత సూత్రం వెనుక వైపు కాలుష్యం, అంచులు విరగడం మరియు ఉపరితల నష్టాన్ని నివారిస్తుంది, అందువల్ల ఇది పలుచని (≤100 μm), పెళుసైన లేదా వంకరగా ఉన్న వేఫర్లకు ఆదర్శంగా ఉంటుంది. సిరామిక్ సబ్స్ట్రేట్ అధిక వంగుడు బలాన్ని (Al₂O₃ కోసం 361 MPa; SiC కోసం 550–600 MPa వరకు), తక్కువ బరువును మరియు అద్భుతమైన ఆకార స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది, ఇది అధిక-వేగ వేఫర్ బదిలీ రోబోట్లలో పునరావృతమయ్యే స్థాన నిర్ధారణను నిర్ధారిస్తుంది.
-
టెఫ్లాన్ పూత పూసిన సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ – సున్నితమైన వేఫర్ నిర్వహణ కోసం అంటుకోని ఉపరితలం
సెయింట్ సెరా వారి టెఫ్లాన్ (PTFE) పూత పూసిన సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్, అధిక-బలం గల అల్యూమినా సబ్స్ట్రేట్ను ఏకరీతి, తక్కువ-ఘర్షణ గల PTFE పూతతో (మందం 15–30 μm) మిళితం చేస్తుంది. ఈ పూత అత్యంత తక్కువ ఘర్షణ గుణకం (≤0.1), అద్భుతమైన రసాయన నిరోధకత, మరియు అంటుకోని లక్షణాలను అందిస్తుంది, ఇది వేఫర్ అంటుకోకుండా నిరోధిస్తుంది మరియు వెనుక వైపు కాలుష్యాన్ని తొలగిస్తుంది. దీని కింద ఉన్న సిరామిక్ సబ్స్ట్రేట్ (99.8% Al₂O₃) అధిక వంగుడు బలం (361–1000 MPa), అరుగుదల నిరోధకత, మరియు 260°C (పూత పరిమితి) వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. ఈ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ సున్నితమైన, పలుచని, లేదా జిగటగా ఉండే వేఫర్లను (ఉదాహరణకు, ఫోటోరెసిస్ట్ కోటింగ్ లేదా రసాయన ప్రక్రియల తర్వాత) నిర్వహించడానికి చాలా అనువైనది.
